REF.NO. 12/206/2026 / Ion beam trimmer
Tiivistelmä
Katso samankaltaisia mahdollisuuksia
Kaikkien tietojen näyttäminen vaatii rekisteröitymisen ja kirjautumisen palveluun.
REF.NO. 12/206/2026 / Ion beam trimmer
Hankintailmoitustyyppi
Tulokset [TED eF[29]]
Julkaistu
3.9.2026
6.21
(UTC+03:00)
Organisaatio
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
Kuvaus
The object of the tender was 200 mm wafer particle beam trimming tool for VTT Micronova cleanroom semiconductor front end processing. The particle beam may be an ion beam, or a gas cluster beam, with a full width at half maximum within 3-15 mm.
The tool had to be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom.
The object of the tender process was described in more detail in the invitation to tender documents.