622453 / Picosecond ultrasonics film thickness measurement tool
Tiivistelmä
Katso samankaltaisia mahdollisuuksia
Kaikkien tietojen näyttäminen vaatii rekisteröitymisen ja kirjautumisen palveluun.
622453 / Picosecond ultrasonics film thickness measurement tool
Hankintailmoitustyyppi
Tulokset [TED eF[29]]
Julkaistu
4.8.2026
6.19
(UTC+03:00)
Organisaatio
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
Kuvaus
Cassette-to-cassette measurement system using picosecond ultrasonics for materials characterization in
semiconductor processes, enabling metal thickness metrology, implant monitoring, and thermal conductivity characterization.