TY/401/2026 / Elektronilitografiapäivityspaketti kenttäemissio-pyyhkäisyelektronimikroskooppiin
Ilmoituksen tiivistelmä
Katso samankaltaisia mahdollisuuksia
Kaikkien tietojen näyttäminen vaatii rekisteröitymisen ja kirjautumisen palveluun.
TY/401/2026 / Elektronilitografiapäivityspaketti kenttäemissio-pyyhkäisyelektronimikroskooppiin
Hankintailmoitustyyppi
Kansallisten hankintojen suorahankintailmoitus
Julkaistu
25.2.2026
15.14
(UTC+02:00)
Organisaatio
Turun yliopisto
Kuvaus
Kyseessä on Raith Elphy Quantum -laajennusosan hankinta Turun yliopiston Thermo Scientific Apreo S -kenttäemissio-pyyhkäisyelektronimikroskooppiin, mahdollistaen elektronisädelitografian olemassa olevalla laitteistolla. Elektronisädelitografia täydentää yliopiston maskittomaan valmistukseen soveltuvaa infrastruktuuria, mahdollistamalla nanometrikokoluokassa olevien rakenteiden valmistuksen.
Elphy Quantum -päivityspaketti sisältää tietokoneen, joka on laitevalmistajan (Raith GmbH, Saksa) puolesta varustettu lisäkortilla sekä ohjelmistolla, jolla voidaan ulkoisesti ohjata yliopiston Apreo-mikroskooppia. Tämän avulla on mahdollista käyttää elektronisädettä sopivien fotoresistien kanssa erilaisille substraateille haluttujen rakenteiden valottamiseen ilman maskeja.